ZYGO 50年以來(lái)專(zhuān)注于精密光學(xué)計(jì)量設(shè)備研發(fā)與制造，是菲索式激光干涉儀公認(rèn)的“專(zhuān)家”。

為滿(mǎn)足多樣化的測(cè)試應(yīng)用需求，ZYGO提供多種型號(hào)的菲索式激光干涉儀。今天 小Z就從各個(gè)型號(hào)的設(shè)計(jì)理念，優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，適用范圍等角度，給各位親介紹下：

如何選擇不同型號(hào)ZYGO激光干涉儀

Verifire高性?xún)r(jià)比，經(jīng)典型

1.2K*1.2K，1X至5X光學(xué)縮放，PSI QPSI采樣模式。

Verifire是光學(xué)加工行業(yè)應(yīng)用*廣泛，工業(yè)客戶(hù)*“喜愛(ài)”的型號(hào)。

·             Verifire采用經(jīng)典設(shè)計(jì)，在上海組裝生產(chǎn)，質(zhì)量穩(wěn)定，具有非常高的性?xún)r(jià)比。

·             它主要用于光學(xué)器件表面或者波前的整體形貌測(cè)量。

·             其1倍至5倍連續(xù)光學(xué)縮放，QPSI抗振移相模式，使其對(duì)振動(dòng)環(huán)境，和不同尺寸的樣品有良好的適應(yīng)性。

DynaFiz 高分辨率，全能型

1.2K*1.2K，1X 1.7X 3X分立光學(xué)縮放，PSI QPSI及DynaPhase瞬態(tài)采樣模式，Livephase及 Movie動(dòng)態(tài)模式。

DyanFiz是“當(dāng)仁不讓”的全能型選手，無(wú)論是高光學(xué)分辨率(ITF)，還是應(yīng)對(duì)振動(dòng)或極端擾動(dòng)環(huán)境，DynaFiz都“得心應(yīng)手”。

·             DyanFiz采用高分辨率光學(xué)設(shè)計(jì)，配合ZYGO獨(dú)有的分立變倍系統(tǒng)，DynaFiz在3倍光學(xué)縮放下有著所有ZYGO標(biāo)準(zhǔn)干涉儀，*高光學(xué)分辨率ITF，不僅可以測(cè)試整體形貌，也用來(lái)測(cè)試中頻誤差。

·             它有著***的采樣模式。QPSI抗振模式可以在振動(dòng)環(huán)境下，保證測(cè)試精度；在極端擾動(dòng)環(huán)境中，則以DynaPhase瞬態(tài)模式采樣；

·             DynaFiz更獨(dú)有Livephase及Movie動(dòng)態(tài)模式，可以實(shí)時(shí)觀察，或以電影模式紀(jì)錄多幀數(shù)據(jù)，形成數(shù)據(jù)地圖“電影”，記錄和觀察測(cè)試結(jié)果的動(dòng)態(tài)變化。

Verifire HD 全口徑高分辨率

2.3K*2.3K，1X光學(xué)縮放，PSI QPSI采樣模式 ，DynaPhase瞬態(tài)模式可選。

Verifire HD設(shè)計(jì)上是為了*大程度地去除環(huán)境的擾動(dòng)，測(cè)量全口徑下，整體形貌以及中頻誤差。

·             于DynaFiz不同，Veirifire HD期望在全口徑下，實(shí)現(xiàn)中頻測(cè)試能力；所以采用2.3K*2.3K采樣，配合1X固定變倍系統(tǒng)。

·             Verifire HD標(biāo)配ZYGO磚利抗振模式 QPSI?，可以大幅降低環(huán)境振動(dòng)的影響；同時(shí)保留菲索式激光干涉儀*大的優(yōu)勢(shì)，共光路干涉;使測(cè)試精度，橫向分辨率，幾乎沒(méi)有損失。

·             Verifire HD通過(guò)可選DynaPhase瞬態(tài)模式采樣，具有在極端擾動(dòng)環(huán)境中瞬態(tài)測(cè)量能力。

Verifire HDX *高分辨率,展示****的細(xì)節(jié)

3.4K*3.4K，1X光學(xué)縮放，PSI QPSI采樣模式 ，DynaPhase動(dòng)態(tài)模式可選。

Verifire?HDX采用全新的光學(xué)設(shè)計(jì)，支持以3.4k * 3.4k(1160萬(wàn)像素)采樣，展示出低分辨率干涉儀難以識(shí)別的表面特征。Verifire?HDX全口徑下具有*高光學(xué)分辨率(ITF)。

·             Verifire?HDX擁有全口徑*強(qiáng)ITF曲線(xiàn)，能滿(mǎn)足*苛刻細(xì)節(jié)測(cè)試的需要。

·             Verifire HDX標(biāo)配ZYGO磚利抗振模式 QPSI?，可以大幅降低環(huán)境振動(dòng)的影響；同時(shí)保留菲索式激光干涉儀*大的優(yōu)勢(shì)，共光路干涉;使HDX具有抗振能力的同時(shí),測(cè)試精度，橫向分辨率，幾乎沒(méi)有損失。

·             Verifire HDX通過(guò)可選DynaPhase瞬態(tài)模式，也具有在極端擾動(dòng)環(huán)境中瞬態(tài)測(cè)量能力。