"光滑"是指多光滑？
"光滑"是指多光滑？
那 “超光滑” 呢？
玻璃窗 光滑 嗎?
汽車發(fā)動機的承壓密封面 光滑 嗎?
手機攝像頭的鏡頭透鏡 光滑 嗎?
光學，機械，電子精密制造商，都在關注那些 高精度、高性能，尺寸可能卻很小的關鍵組件，這些組件對終端產品的性能至關重要，常常關乎一家公司在市場上的生存。
對于這些關鍵組件的關鍵面，"光滑"是指多光滑？這個問題弄清楚，很重要。
-光滑，超光滑表面的計量
有各種工具和方法，用于計量“光滑”表面；從觸針輪廓儀到原子力顯微鏡，以及非接觸式光學計量設備。
· 觸針式輪廓儀，通過在樣品上沿路徑運行的觸頭，來提供粗糙度結果，它只提供沿路徑的2D輪廓結果，而且會損壞它所測量的表面;
· 原子力顯微鏡(AFM),使用一個非常小的懸臂探針，使其靠近樣品，檢測**和樣品之間的作用力。原子力顯微鏡(AFM）可以提供納米級的分辨率，但測量過程耗時、探針消耗成本高、測量表面的區(qū)域范圍有限；
· 非接觸光學計量方式，以光為媒介，基于光學技術來感知表面，可以避免接觸被測表面。
-超光滑表面計量
超光滑表面計量需要 相干掃描干涉技術CSI（Coherent Scan Interferometry）。
并非所有的非接觸光學檢測設備，都能達到測量超光滑表面，所需的 埃級別 重復性和精度，認識到這一點很重要。
例如，共聚焦顯微鏡是基于Z軸掃描時，光強信號的變化，直接判斷位置信息的。這種共聚焦技術的縱向分辨率，和物鏡數值孔徑NA值關聯,能測試的*光滑表面的RMS值，在幾納米級別。同時共聚焦顯微鏡，更適用于粗糙和高度傾斜的表面，對平滑無特征的表面，就不那么有效。
另一種光學檢測技術，相干掃描干涉(CSI Coherent Scan Interferometry)，利用光學干涉的原理，分析白光干涉掃描的條紋光強以及相位信息。正是深入到干涉相位的分析，才使CSI技術能測試的*光滑表面的RMS值，達到 優(yōu)于埃，小于0.1納米級別。同時這一分辨率和物鏡NA值無關，能夠測量用于粗糙和異常光滑表面。
與共焦和其它非接觸技術相比，CSI具有以下幾個優(yōu)勢:
· 基于CSI技術的光學輪廓儀，在使用各種物鏡，所有放大倍數下，都具有納米級或亞納米級精度。
· 基于CSI技術的光學輪廓儀，能快速高速掃描，在所有放大倍數下，在幾秒鐘內得到數百萬像素的高度信息。
· CSI可用于超光滑（亞納米粗糙度）或光學透明的表面，也可測量具有透明光學薄膜的表面。
當需要確認“光滑”足夠“光滑”時，ZYGO基于相干掃描干涉技術的3D光學輪廓儀包括，NewView 9000, Nexview NX2 和 ZeGage Pro， 都是您*佳的選擇。
ZYGO光學輪廓儀，提供的符合ISO 25178, ISO 4287/4288及其他標準的各類表面計量結果。
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